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Journal of vacuum science & technology : the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: Zeitschrift (Online)Periodika (Online)Sprache: Englisch Volumes: Bände: Show volumesZeige BändeVerlag: New York, NY : Inst., 1964-1982Beschreibung: Online-RessourceISSN:
  • 2331-1754
Weitere Titel:
  • Journal of vacuum science and technology
Former title: Früherer Titel: The journal of vacuum science and technology, Hauptsacht. bis 9.1972Genre/Form: Andere physische Formen: 0022-5355 | Erscheint auch als: Journal of vacuum science & technology. Druck-Ausgabe. New York, NY : Inst., 1964DDC-Klassifikation:
  • 530
Online-Ressourcen: Publication dates: Erscheinungsverlauf: 1.1964 - 21.1982Bestand: KIT-Bibliothek: 1.1964,1 - 21.1982,4Fortsetzung: Forts: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films., New York, NY : Inst., 1983.Fortsetzung: Forts: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena., New York, NY : Inst., 1983.PPN: PPN: 504104373ZDB ID: ZDB-ID: 2212422-6
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