Anwendung und Erweiterung der 3-[omega] Methode zur Charakterisierung komplexer Mehrschichtsysteme in der Mikrosystemtechnik / Carsten Eric Raudzis
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Original language: German Publisher: Tönning;Lübeck;Marburg : Der Andere Verlag, 2007Edition: 1. AuflDescription: 139 S : Ill., graph. Darst ; 260 mm x 180 mmISBN:- 9783899595864
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- 3-omega-Methode
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