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Anwendung und Erweiterung der 3-[omega] Methode zur Charakterisierung komplexer Mehrschichtsysteme in der Mikrosystemtechnik / Carsten Eric Raudzis

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Original language: German Publisher: Tönning;Lübeck;Marburg : Der Andere Verlag, 2007Edition: 1. AuflDescription: 139 S : Ill., graph. Darst ; 260 mm x 180 mmISBN:
  • 9783899595864
  • 3899595866
Other title:
  • 3-omega-Methode
Subject(s): Genre/Form: DDC classification:
  • 620
  • 536.2012
  • 530
  • 620
Action note:
  • 3
Dissertation note: Zugl.: Tübingen, Univ., Diss., 2006 Call number: Grundsignatur: 2009 A 4223PPN: PPN: 52709210X
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