Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe / wissenschaftliche Ltg. des Workshops: Helmut F. Schlaak. Veranstalter: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss "Werkstoffe und Fertigungsverfahren"

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookPublisher number: 463033Language: German Series: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik. GMM-Fachbericht ; 53Publisher: Berlin ; Offenbach : VDE, 2007Description: 264 S. : Ill., graph. Darst. ; 297 mm x 210 mm + 1 CD-ROMISBN:

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Additional physical formats: Erscheint auch als: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik. CD-ROM-Ausgabe. Berlin : VDE, 2007. 1 CD-ROMDDC classification:

RVK: RVK: ZN 3750 | ZN 4100 | ZN 3700Action note:

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Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	nano 2	Lesesaal CN	2011 E 348	Available	50640120090

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