Dynamische Ermüdungsuntersuchungen an mikromechanischen Polysiliziumstrukturen / von Wei Xiao

Von:

Xiao, Wei [aut]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: Berlin : Univ.-Verl. der TU, Univ.-Bibliothek, 2007Auflage: 1. AuflBeschreibung: X, 131 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cmISBN:

9783798320284
3798320284

Schlagwörter:

MEMS
Materialermüdung
Silicium
Finite-Elemente-Methode
Oxidschicht

Genre/Form:

Hochschulschrift

DDC-Klassifikation:

RVK: RVK: ZM 6000 | ZM 7030Bearbeitungsvermerk:

Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2006 Call number: Grundsignatur: 2007 DA 1262PPN: PPN: 543334937

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Medientyp	Heimatbibliothek	Standort	Signatur	Status	Barcode
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	2007 DA 1262	Verfügbar	49765727090

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