Wafer level 3-D ICs process technology / Chuan Seng Tan; Ronald J. Gutmann; L. Rafael Reif, ed.
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookPublisher number: 12036400Language: English Series: Series on integrated circuits and systemsPublisher: New York, NY : Springer, 2008Description: XIV, 358 S. : Ill., graph. Darst ; 235 mm x 155 mmISBN:- 0387765328
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