Atomic layer deposition of nanostructured materials / ed. by Nicola Pinna and Maro Knez

Mitwirkende(r):

Pinna, Nicola [Hrsg.]
Knez, Mato [oth]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Verlag: Weinheim : Wiley-VCH, 2012Beschreibung: XXXVI, 435 S. : Ill., graph. Darst. ; 240 mm x 170 mmISBN:

9783527327973
3527327975

Weitere Titel:

Schlagwörter:

Atomlagenabscheidung
Nanostrukturiertes Material
Chemical vapor deposition
Microelectronics
Epitaxy
Nanotechnology
Nanostructural materials

Andere physische Formen: 9783527639939. | 9783527639915. | 9783527639922. | 9783527639946. | Erscheint auch als: Kein Titel Online-AusgabeDDC-Klassifikation:

540
671.735
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540

RVK: RVK: UP 7550Call number: Grundsignatur: 2012 A 3638PPN: PPN: 66076069X

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Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Sammlung	Standort	Signatur	Exemplarnummer	Status	Fälligkeitsdatum	Barcode	Vormerkungen
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	nano 2	Lesesaal CN	2012 A 3638	;b	Verfügbar		51018270090
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	nano 2	Lesesaal Technik (LST)	2012 A 3638		Verfügbar		50793895090

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