Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung / von Ansgar Waldbaur
Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Deutsch Reihen: Institut für Mikrostrukturtechnik. Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 19Verlag: Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2013Beschreibung: Online-RessourceISBN:- 9783731501190
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