Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung / von Ansgar Waldbaur
Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Book (Online)Language: German Series: Institut für Mikrostrukturtechnik. Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 19Publisher: Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2013Description: Online-RessourceISBN:- 9783731501190
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