Introduction to metrology applications in IC manufacturing / Bo Su; Eric Solecky; Alok Vaid
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Englisch Reihen: Tutorial texts in optical engineering ; 101Verlag: Bellingham, Wash. : SPIE Press, 2015Beschreibung: Online-RessourceISBN:- 9781628416626
- 621.3815 23
- TK7874.58
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