X-ray optics made by X-ray lithography : process optimization and quality control / by Frieder Johannes Koch

By:

Koch, Frieder Johannes [VerfasserIn]

Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Book (Online)Language: English Series: Institut für Mikrostrukturtechnik. Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; Band 36Publisher: Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, [2017]Description: 1 Online-Ressource (X, 138 Seiten) : IllustrationenISBN:

9783731506799

Subject(s):

Genre/Form:

Hochschulschrift

Additional physical formats: Erscheint auch als: X-ray optics made by X-ray lithography. Druck-Ausgabe Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, 2017. X, 138 SeitenDDC classification:

DOI: DOI: 10.5445/KSP/1000070029Online resources:

Volltext frei verfügbar

Dissertation note: Dissertation - Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), 2017 PPN: PPN: 1000634965Package identifier: Produktsigel: GBV-ODiss

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