Novel Patterning Technologies 2018 : 26 February-1 March 2018, San Jose, California, Unites States / Eric M. Panning, Martha I. Sanchez (editors) ; sponsored and published by: SPIE

Von:

Novel Patterning Technologies (Veranstaltung) : (2018 : San Jose, Calif.) [VerfasserIn]

Mitwirkende(r):

Panning, Eric M [HerausgeberIn]
Sanchez, Martha I [HerausgeberIn]
SPIE [Herausgebendes Organ, SponsorIn]

Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Englisch Reihen: SPIE. Proceedings of SPIE ; volume 10584Verlag: Bellingham, Washington, USA : SPIE, [2018]Beschreibung: 1 Online-Ressource : IllustrationenISBN:

9781510616615

Weitere Titel:

SPIE Advanced Lithography International Symposium

Schlagwörter:

Lithografie Halbleitertechnologie
Musterbildung

Genre/Form:

Konferenzschrift

Andere physische Formen: 9781510616608 Online-Ressourcen:

Zugang im Netz des KIT
Zugang im Netz der HKA

PPN: PPN: 1030372160Package identifier: Produktsigel: ZDB-1-SPIE

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