Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII : 26 February-1 March 2018, San Jose, California, Unites States / Vladimir A. Ukraintsev, Ofer Adan (editors) ; sponsored by: SPIE

Von:

(32. : Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography (Veranstaltung) (32. : 2018 : San Jose, Calif.) [VerfasserIn]

Mitwirkende(r):

Ukraintsev, Vladimir A [HerausgeberIn]
Adan, Ofer [HerausgeberIn]
SPIE [Herausgebendes Organ, SponsorIn]

Resource type: Ressourcentyp: Buch (Online)Buch (Online)Sprache: Englisch Reihen: SPIE. Proceedings of SPIE ; volume 10585Verlag: Bellingham, Washington, USA : SPIE, [2018]Beschreibung: 1 Online-Ressource : IllustrationenISBN:

9781510616639

Weitere Titel:

SPIE Advanced Lithography International Symposium

Genre/Form:

Konferenzschrift

Andere physische Formen: 9781510616622 Online-Ressourcen:

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Zugang im Netz der HKA

PPN: PPN: 1030372772Package identifier: Produktsigel: ZDB-1-SPIE

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