Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik / Jens Hirsch
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: Halle (Saale) : Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018Beschreibung: 111 Seiten : Illustrationen, DiagrammeReportnummer: 594/2018Schlagwörter: Genre/Form: Hochschulschriftenvermerk: Dissertation - Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, 2018 Call number: Grundsignatur: 2019 A 1774PPN: PPN: 1047279916| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 2019 A 1774 | Verfügbar | 53795496090 |
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