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Halbleiter-Technologie / Ingolf Ruge
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Halbleiter-Elektronik ; 4Verlag: Berlin [u.a.] : Springer, 1984Auflage: 2., überarb. und erw. Aufl. / von Hermann MaderBeschreibung: 404 S. : Ill., graph. Darst. ; graph. DarstISBN:- 3540126619
- 0387126619
- Halbleitertechnologie
- Semiconductors
- Produktion, Thermodiffusion, Ionenimplantation, Diffusionskoeffizient, integrierte Schaltung, Thermooxidation, Kraftmessung, Dotierungsverteilung, Elektronenstrahllithographie, Metall-Halbleiter-Kontakt, Silicium, Planartechnologie, kovalente Bindung, metallische Bindung, Einkristall
- 621.3815/2 19
- 621.38152 DDC19oclc
- TK7871.85
Inhalte:
Call number: Grundsignatur: 83 A 4604(2)PPN: PPN: 024969443
Literaturverz. S. 384 - 394
| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Exemplarnummer | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin CN | 83 A 4604(2) | ;c | Verfügbar | 51627919090 | |
| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 83 A 4604(2) | ;b | Verfügbar | 09042948049 | |
| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 83 A 4604(2) | Verfügbar | 45858358090 |
Anzahl Vormerkungen: 0