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Ionenstrahlgestützte Halbleitertechnologie / Hartmut Frey
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1992Description: VII, 131 S : Ill., zahlr. graph. DarstISBN:- 3184010694
Contents:
Call number: Grundsignatur: 92 A 1852PPN: PPN: 025051148
| Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Freihandbestand Präsenznutzung | Fachbibliothek Physik | phys 7.14 | Bibliothek / frei aufgestellt | 92 A 1852 | Not for loan | 31261037 |
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