Ionenimplantation in der Halbleitertechnik / George Carter; William A. Grant. Die dt. Ausg. besorgte Hans Günther Wagemann ...
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: München [u.a.] : Hanser, 1981Description: 265 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cmISBN:- 3446125531
- Ion implantation of semiconductors <dt>
- Carter, George. Ion implantation of semiconductors <dt>
- Carter, George. Ion implantation of semiconductors <dt.>
| Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Freihandbestand Präsenznutzung | Fachbibliothek Physik | phys 7.14 | Bibliothek / frei aufgestellt | 81 A 2463 | Not for loan | 23168964 | |
| Institutsbestand | IMS | Ca | Not for loan |
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