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Ionenimplantation in der Halbleitertechnik / George Carter; William A. Grant. Die dt. Ausg. besorgte Hans Günther Wagemann ...

Von: Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: München [u.a.] : Hanser, 1981Beschreibung: 265 S : Ill., graph. Darst ; 24 cmISBN:
  • 3446125531
Einheitssachtitel:
  • Ion implantation of semiconductors <dt>
Enthaltene Werke:
  • Carter, George. Ion implantation of semiconductors <dt>
  • Carter, George. Ion implantation of semiconductors <dt.>
Schlagwörter: RVK: RVK: UP 3000Call number: Grundsignatur: 81 A 2463PPN: PPN: 025066714
Exemplare
Medientyp Heimatbibliothek Sammlung Standort Signatur Status Fälligkeitsdatum Barcode Vormerkungen
Freihandbestand Präsenznutzung Fachbibliothek Physik phys 7.14 Bibliothek / frei aufgestellt 81 A 2463 Nicht ausleihbar 23168964
Institutsbestand IMS Ca Nicht ausleihbar
Anzahl Vormerkungen: 0

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