Thin film and depth profile analysis / ed. by H. Oechsner. With contributions by H.-W. Etzkorn ...

Mitwirkende(r):

Oechsner, Hans [Hrsg.]
Etzkorn, H.-W [oth]
Etzkorn, Heinz W [Mitarb.]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Topics in current physics ; 37Verlag: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 1984Beschreibung: XI, 205 S. : Ill., graph. DarstISBN:

3540133208
0387133208

Schlagwörter:

Dünne Schicht
Oberflächenanalyse
Dünnschichttechnik
Oberflächenchemie
Sputtern
Tiefenprofilmessung
Thin films
Surface chemistry
Sputtering (Physics)

Genre/Form:

Aufsatzsammlung

DDC-Klassifikation:

530.4/1 19

RVK: RVK: UP 7500LOC-Klassifikation:

QC176.84.S93

Call number: Grundsignatur: 84 A 4127PPN: PPN: 025105310

Exemplare ( 2 )

Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Sammlung	Standort	Signatur	Exemplarnummer	Status	Barcode
Freihandbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Nord	phys 8.71	Lesesaal CN	84 A 4127	;b	Verfügbar	51630514090
Freihandbestand Präsenznutzung	Fachbibliothek Physik	phys 8.71	Bibliothek / frei aufgestellt	84 A 4127		Nicht ausleihbar	23206209

Anzahl Vormerkungen: 0