Microelectronics processing : chemical engineering aspects / Dennis W. Hess, ed. ...

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Advances in chemistry series ; 221Verlag: Washington, DC : American Chemical Society, 1989Beschreibung: XIV, 547 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cmISBN:

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	92 A 3200	Verfügbar	45004470090

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