Dry etching for microelectronics / Ronald A. Powell [Hrsg.]

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Materials processing, theory and practices ; 4Verlag: Amsterdam [u.a.] : North-Holland Physics Publ., 1984Beschreibung: XI, 299 S : Ill., graph. DarstISBN:

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RVK: RVK: UP 3250 | UP 3100Call number: Grundsignatur: 84 A 4539PPN: PPN: 025268074

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Medientyp	Heimatbibliothek	Standort	Signatur	Status	Barcode
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	84 A 4539	Verfügbar	48984334090

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