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Film deposition by plasma techniques : with 30 tables / Mitsuharu Konuma
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Springer series on atoms and plasmas ; 10Verlag: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 1992Beschreibung: IX, 224 S. : graph. Darst. ; 24 cmISBN:- 3540540571
- 0387540571
- Nebent.: Fundamentals of plasma and its application to film deposition
- Fundamentals of plasma and its application to film deposition
- Purazuma to Sei-maku no Kiso <engl.>
- Konuma, Mitsuharu. Purazuma to Sei-maku no Kiso <engl.>
- 621.381/52
- 621.044
- TK7871.15.F5
| Medientyp | Heimatbibliothek | Sammlung | Standort | Signatur | Exemplarnummer | Status | Fälligkeitsdatum | Barcode | Vormerkungen | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Freihandbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Nord | phys 7.65 | Lesesaal CN | 92 A 2105 | ;b | Verfügbar | 51674067090 | |||
| Freihandbestand Präsenznutzung | Fachbibliothek Physik | phys 7.65 | Bibliothek / frei aufgestellt | 92 A 2105 | Nicht ausleihbar | 27216105 |
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