Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat / Ulrich Hilleringmann

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 82Verlag: Düsseldorf : VDI-Verl., 1988Beschreibung: 147 S : Ill., graph. DarstISBN:

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Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Diss. Call number: Grundsignatur: 88 A 3625PPN: PPN: 025527568

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	88 A 3625	Verfügbar	46806853090

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