Entwicklung eines neuartigen BICMOS-Prozesses unter wesentlicher Nutzung der Hochenergie-Ionenimplantation / Torsten Harms

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 9 ; 110Publisher: Düsseldorf : VDI-Verl., 1991Edition: Als Ms. gedrDescription: IV, 179 S : graph. DarstISBN:

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Dissertation note: Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1990 Call number: Grundsignatur: 91 A 1051PPN: PPN: 025579266

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Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	91 A 1051	Available		46208100090

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