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Quantitative Auger-Elektronenspektroskopie zur Tiefenprofilanalyse von Schichtsystemen am Beispiel von Silizium nach Nickelimplantation / Andreas Schönborn
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Verein Deutscher Ingenieure. Fortschrittberichte VDI / 5 ; 235Verlag: Düsseldorf : VDI-Verl., 1991Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: II, 134 S. : Ill., graph. DarstISBN:- 3181435058
- Nebent.: Ionenstrahlsynthese
- Ionenstrahlsynthese
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| Medientyp | Heimatbibliothek | Standort | Signatur | Status | Fälligkeitsdatum | Barcode | Vormerkungen | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 91 A 4151 | Verfügbar | 45999205090 |
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