Halbleiter-Technologie : eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen und einer mehrfarbigen Tafel des Periodensystems der Elemente / von Heinz Beneking
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: Stuttgart : Teubner, 1991Beschreibung: XI, 812 S : Ill., graph. Darst ; 23 cmISBN:- 3519061333
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