Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik / C. Burbaum; J. Mohr
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Kernforschungszentrum Karlsruhe. Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 4859Publisher: Karlsruhe : Kernforschungszentrum, 1991Edition: Als Ms. gedrDescription: 64 S. : Ill., graph. DarstReport number: KfK 4859Genre/Form: Additional physical formats: Erscheint auch als: Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik. Online-Ausgabe Karlsruhe : KIT-Bibliothek, 2019. 1 Online-Ressource (64 Seiten)Action note:- 2
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin | CN KFK-4859 | Available | 53450638090 | ||
| Freihandbestand Präsenznutzung | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin | CN KFK-4859 | ;b | Not for loan | 53450649090 |
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