Automatisierte und hochaulösende Elektronenstrahl-Halbleitertechnologie : Grundlagen zur Justierung und Physik von Halbleiter-Mikrostrukturen / Institut für Halbleitertechnik der RWTH Aachen. Von Hermann-Josef Geelen ...
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 79-069Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, Kernforschungszentrum, 1979Description: 67 S : Ill., graph. DarstReport number: BMFT-FB-T-79-69Other title:- hochauflösende
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