Neue photolithographische Verfahren für kleine Strukturen : Einführung und Erprobung der Elektronenstrahllithographie / von Wolfgang Dörner ...

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 80-199Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1980Edition: Als Ms. gedrDescription: 140 S : Ill., graph. DarstReport number: BMFT-FB-T-80-199Subject(s): Genre/Form: Action note:
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