Neue photolithographische Verfahren für kleine Strukturen : Einführung und Erprobung der Elektronenstrahllithographie / von Wolfgang Dörner ...
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Deutschland Forschungsbericht / T ; 80-199Verlag: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1980Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: 140 S : Ill., graph. DarstReportnummer: BMFT-FB-T-80-199Schlagwörter: Genre/Form: Bearbeitungsvermerk:- 2
- Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet PEBW
Dieser Titel hat keine Exemplare
Archivierung prüfen 20200919 DE-640 2 pdager
Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet PEBW DE-31 pdager DE-90