Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile / von G. Raabe

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 75,2Publisher: München : ZLDI, 1975Description: 71 S. : Ill., graph. DarstSubject(s): Action note:
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