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Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile / von G. Raabe

Von:

Raabe, Gerhard [aut]

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Deutschland Forschungsbericht / T ; 75,2Verlag: München : ZLDI, 1975Beschreibung: 71 S. : Ill., graph. DarstSchlagwörter:

Gasphasenepitaxie

Bearbeitungsvermerk:

Call number: Grundsignatur: ZE 5324-1975,2.1975PPN: PPN: 1108895948

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