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Prozeßtechnologie : Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen / G. Schumicki; P. Seegebrecht
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: MikroelektronikPublisher: Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer, 1991Description: XVI, 497 S. : graph. DarstISBN:- 3540176705
- 0387176705
- 621.381/52
- TK7871.99.M44
| Item type | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Copy number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | Geschlossenes Magazin | 91 A 3369 | Available | 44289341090 | |||
| Lehrbuchsammlung | Fachbibliothek HKA | nach 8.23 | Bibliothek / frei aufgestellt | 91 A 3369 | ;b | Available | 50024680090 |
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