Weiterentwicklung von Elektronenstrahllithographie / von Wolfgang Dörner ...
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Deutschland Forschungsbericht / T ; 83,99Verlag: Eggenstein-Leopoldshafen : FIZ Energie, Physik, Mathematik, 1983Beschreibung: 74 S. : zahlr. IllBearbeitungsvermerk:- 2
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