Weiterentwicklung von Elektronenstrahllithographie / von Wolfgang Dörner ...

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 83,99Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : FIZ Energie, Physik, Mathematik, 1983Description: 74 S. : zahlr. IllAction note:
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