Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen : Verbundprojekt 1989 - 1991; Abschlussbericht / Drägerwerk AG, Lübeck ... [Hrsg.: VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH]

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; 1Publisher: Teltow : VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1993Description: 205 S. : Ill., graph. DarstSubject(s): RVK: RVK: ZQ 5000Action note:
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