Elektronenstrahlschreiben auf Halbleitern / von Hartwig Bierhenke ...
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 79,14Publisher: Eggensteil-Leopoldshafen : Kernforschungszentrum, 1979Edition: Als Ms. gedrDescription: 133 S. : Ill., graph. DarstReport number: BMFT FB T 79 014Genre/Form: Action note:- 2
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