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Untersuchungen zur Kinetik der Abscheidung von TiN-Schichten mit reaktiven PVD-Verfahren / vorgelegt von Johannes Schubert

Von:

Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Max-Planck-Institut für Metallforschung. Bericht ; 14Verlag: Stuttgart : Max-Planck-Inst. f. Metallforschung, 1996Beschreibung: 104 S. : Ill., graph. DarstGenre/Form:

RVK: RVK: ZM 1600Bearbeitungsvermerk:

Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1996 Call number: Grundsignatur: 96 DA 1156PPN: PPN: 1122025874

Exemplare
Medientyp	Heimatbibliothek	Standort	Signatur	Status	Barcode
Magazinbestand ausleihbar	Bibliothek Campus Süd	Geschlossenes Magazin	96 DA 1156	Verfügbar	40878419

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