Poröses Silicium für die Mikrooptik : Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen / Michael Götz Berger

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Forschungszentrum Jülich. Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3219 : Institut für Schicht- und IonentechnikPublisher: Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1996Description: X, 167 S. : Ill., graph. DarstReport number: Jül 3219Subject(s): Genre/Form: Action note:
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Dissertation note: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 Call number: Grundsignatur: CN JUEL-3219PPN: PPN: 1123982236
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Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Nord Geschlossenes Magazin CN CN JUEL-3219 Available 51825673090
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