Praktischer Einsatz des Elektronenstrahl-Testverfahrens in LSI- und VLSI-Bausteinen / Siegfried Görlich; Erich Kubalek
Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Deutschland Forschungsbericht / T ; 84,185Verlag: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1984Auflage: Als Ms. gedrBeschreibung: 195 S. : Ill., graph. DarstReportnummer: BMFT-FB-T 84-185; BMFT FB T 84 185Genre/Form: Bearbeitungsvermerk:- 2
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