Charakterisierung und Optimierung selektiv gewachsener vertikaler Silizium-MOS-Feldeffekttransistoren / Dirk Klaes

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Forschungszentrum Jülich. Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3644Publisher: Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 1999Description: V, 104 Seiten : Illustrationen, DiagrammeReport number: Jül-3644Subject(s): Genre/Form: Action note:
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Dissertation note: Dissertation - Technische Hochschule Aachen, 1999 Call number: Grundsignatur: CN JUEL-3644PPN: PPN: 1148682872
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