Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen. 1 / von Heiner Ryssel ... / Fraunhofer-Inst. für Festkörpertechnologie, München. Von Heiner Ryssel ...
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Deutschland Forschungsbericht / T ; 82,119 : ElektronikSet: Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen.Publisher: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982Description: 152 S. : Ill., graph. DarstAction note:- 2
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