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Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen. 1 / von Heiner Ryssel ... / Fraunhofer-Inst. für Festkörpertechnologie, München. Von Heiner Ryssel ...

Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Deutschland Forschungsbericht / T ; 82,119 : ElektronikGesamtaufnahme: Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen.Verlag: Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982Beschreibung: 152 S. : Ill., graph. DarstBearbeitungsvermerk:
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Call number: Grundsignatur: ZE 5324-1982,119.1982PPN: PPN: 1150912766
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