Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium : Merkmale und Mikrostruktur und deren Deutung im Sinne von Wachstumsvorgängen / Lothar Houben
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Forschungszentrum Jülich. Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3753 : Institut für Schicht- und IonentechnikPublisher: Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 2000Description: V, 138 S. : graph. DarstReport number: Jül 3753Subject(s): Genre/Form: Action note:- 2
| Item type | Home library | Shelving location | Call number | Status | Barcode | |
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin | CN JUEL-3753 | Available | 51763076090 |
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