Extreme ultraviolet (EUV) sources for lithography based on synchrotron radiation / G. Dattoli ...
Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: English Series: Forschungszentrum Karlsruhe. Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft ; 6606Publisher: Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001Edition: Als Ms. gedrDescription: 29 S. : Ill., graph. DarstReport number: FZKA 6606Other title:- Extreme Ultraviolett (EUV) Strahlungsquellen für die Lithographie basierend auf Synchrotron Strahlung
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| Magazinbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin CN | CN FZKA-6606 | Available | 51722420090 | ||
| Freihandbestand Präsenznutzung | Bibliothek Campus Nord | Geschlossenes Magazin CN | CN FZKA-6606 | ;b | Not for loan | 51722384090 |
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