Herstellung von Dünnschichtkondensatoren durch reaktives und ionenunterstütztes Aufdampfen / von Walter Kübler

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: 1987Description: 117 S : Ill., graph. Darst ; 21 cmSubject(s): Genre/Form: Action note:
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Dissertation note: Karlsruhe, Techn. Hochsch., Fak. f. Elektrotechnik, Diss., 1987 Call number: Grundsignatur: 87 DA 131PPN: PPN: 016090500
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