Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 3, From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications / Marc J. Madou / Marc J. Madou
Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: English Set: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology.Publisher: Boca Raton, Fla. [u.a.] : CRC Press, 2012Edition: 3. edDescription: XIII, 636 Seiten : Ill., graph. DarstISBN:- 9781420055160
- 142005516X
- 620.5
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