Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 3, From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications / Marc J. Madou / Marc J. Madou

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: English Set: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology.Publisher: Boca Raton, Fla. [u.a.] : CRC Press, 2012Edition: 3. edDescription: XIII, 636 Seiten : Ill., graph. DarstISBN:

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Additional physical formats: Erscheint auch als: Fundamentals of microfabrication and nanotechnolgoy ; Volume III: From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS. Online-Ausgabe Third Edition. Boca Raton : CRC Press, 2011. 1 Online-Ressource (xiii, 626 Seiten)DDC classification:

RVK: RVK: ZN 3700 | ZN 4170Call number: Grundsignatur: 2011 E 881-3(3)PPN: PPN: 1418450065

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