Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 1, Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology / Marc J. Madou / Marc J. Madou

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Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: English Set: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology.Publisher: Boca Raton, Fla. [u.a.] : CRC Press, 2012Edition: 3. edDescription: XIII, 641 Seiten : Ill., graph. DarstISBN:

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Additional physical formats: Erscheint auch als: Fundamentals of microfabrication and nanotechnolgoy ; Volume I: Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology. Online-Ausgabe Third Edition. Boca Raton : CRC Press, 2011. 1 Online-Ressource (xv, 630 Seiten)DDC classification:

Call number: Grundsignatur: 2011 E 881-1(3)PPN: PPN: 1418562386

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