Herstellung und Charakterisierung von multifunktionalen SiCN-, SiBCN-, TiN- und Kohlenstoffschichten / Christoph Schlemper

By: Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; Band 10Publisher: Siegen : Universität Siegen, 2016Description: xii, 173 Seiten : Illustrationen, DiagrammeSubject(s): Genre/Form: RVK: RVK: ZM 7024Dissertation note: Dissertation - Universität Siegen, 2016 Call number: Grundsignatur: 2017 A 5429PPN: PPN: 1561401730
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