X-ray optics made by X-ray lithography : process optimization and quality control / by Frieder Johannes Koch
Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Englisch Reihen: Institut für Mikrostrukturtechnik. Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) ; Band 36Verlag: Karlsruhe : KIT Scientific Publishing, [2017]Beschreibung: X, 138 Seiten : IllustrationenISBN:- 9783731506799
| Medientyp | Heimatbibliothek | Sammlung | Standort | Signatur | Status | Barcode | |
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| Freihandbestand ausleihbar | Bibliothek Campus Süd | masch11 | Lesesaal Technik (LST) | 2017 A 6476 | Verfügbar | 52339131090 |
Anzahl Vormerkungen: 0