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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou

Von:

Madou, Marc J [VerfasserIn]

Resource type: Ressourcentyp: Gesamtaufnahme (Online)Gesamtaufnahme (Online)Sprache: Englisch Bände: Zeige BändeVerlag: Boca Raton ; London ; New York : CRC Press, [2011]Auflage: Third editionEinheitssachtitel:

Fundamentals of microfabrication

Schlagwörter:

Mikrosystemtechnik
Fertigungstechnik
Microfabrication
Nanotechnology
Microelectromechanical systems
Nanoelectromechanical systems

Andere physische Formen: Erscheint auch als: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Druck-Ausgabe 3. ed. Boca Raton, Fla. [u.a.] : CRC Press, 2012PPN: PPN: 1577276264

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