Ein Beitrag zur automatischen Korrektur des Proximity-Effektes in der Elektronenstrahl-Lithographie / Ernst Kratschmer

By: Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Publisher: 1982Description: V, 114 SSubject(s): Genre/Form: Action note:
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Dissertation note: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1982 Call number: Grundsignatur: 83 DA 2758PPN: PPN: 1601130740
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