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Ein Beitrag zur automatischen Korrektur des Proximity-Effektes in der Elektronenstrahl-Lithographie / Ernst Kratschmer

Von: Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Verlag: 1982Beschreibung: V, 114 SSchlagwörter: Genre/Form: Bearbeitungsvermerk:
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Hochschulschriftenvermerk: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1982 Call number: Grundsignatur: 83 DA 2758PPN: PPN: 1601130740
Exemplare
Medientyp Heimatbibliothek Standort Signatur Status Barcode
Magazinbestand ausleihbar Bibliothek Campus Süd Geschlossenes Magazin 83 DA 2758 Verfügbar 47958184090
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