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Produktionstechnik für bewegliche Mikrostrukturen auf strukturierten Substraten am Beispiel des Beschleunigungssensors : Ergebnisbericht des Verbundprojektes PROBE / Projektträger: Projektträgerschaft Produktion und Fertigungstechnologien im Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt. J. Fahrenberg; M. Heckele (Hrsg.)

Mitwirkende(r): Resource type: Ressourcentyp: BuchBuchSprache: Deutsch Reihen: Rahmenkonzept Produktion 2000 des Bundesministeriums für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie | Projektträgerschaft Produktion und Fertigungstechnologien. Wissenschaftliche Berichte ; 192Verlag: Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe, 1998Beschreibung: 96 S. : Ill., graph. DarstReportnummer: FZKA PFT 192Schlagwörter: Genre/Form: Bearbeitungsvermerk:
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Call number: Grundsignatur: CN FZKA-PFT-192PPN: PPN: 1603800581
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Freihandbestand Präsenznutzung Bibliothek Campus Nord Geschlossenes Magazin CN FZKA-PFT-192 ;b Nicht ausleihbar 53831655090
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