Produktionstechnik für bewegliche Mikrostrukturen auf strukturierten Substraten am Beispiel des Beschleunigungssensors : Ergebnisbericht des Verbundprojektes PROBE / Projektträger: Projektträgerschaft Produktion und Fertigungstechnologien im Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt. J. Fahrenberg; M. Heckele (Hrsg.)

Contributor(s): Resource type: Ressourcentyp: BuchBookLanguage: German Series: Rahmenkonzept Produktion 2000 des Bundesministeriums für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie | Projektträgerschaft Produktion und Fertigungstechnologien. Wissenschaftliche Berichte ; 192Publisher: Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe, 1998Description: 96 S. : Ill., graph. DarstReport number: FZKA PFT 192Subject(s): Genre/Form: Action note:
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